과학기술정보통신부에서는 첨단 반도체 공정 혁신을 통한 기술 선도를 위해 차세대 반도체 장비 원천기술을 개발하여 연구․산업의 경쟁력 강화를 위하여
｢차세대반도체장비원천기술개발사업｣의 2024년도 신규과제 선정계획을 아래와 같이 공고하오니 연구자분들의 많은 관심과 참여 바랍니다.


□ 사업목적
ㅇ 첨단 반도체 공정 혁신을 통한 기술 선도를 위해 차세대 반도체 장비 원천기술을 개발하여 연구․산업의 경쟁력 강화

□ 사업내용
ㅇ 대면적・고심도 계측/검사용 SEM(전자현미경) 장비 원천기술 개발

□ 지원기간 및 연구비 규모
ㅇ 과제형식 : 단위과제(필요시, 공동, 위탁 포함 가능)
ㅇ 연구개발기간 : ′24.4. ~ ′28.12.(총 57개월 내외)
ㅇ (과제당)연구비 : 총 20,500백만원 내외(’24년 2,500백만원)

□ 신청방법 및 절차
ㅇ 범부처통합연구지원시스템(IRIS, https://www.iris.go.kr)에 연구책임자가 로그인하여 온라인 입력정보 작성 및 연구계획서 등 탑재 후 주관연구기관 확인·승인

□ 신청기간
ㅇ 연구책임자 신청 기간 : 2024. 3. 14.(목) ~ 3. 28.(목) 18:00까지
ㅇ 주관연구기관 검토·승인기간 : 2024. 3. 14.(목) ~ 3. 29.(금) 18:00까지

□ 문의처
ㅇ (RFP 관련 문의) 반도체·디스플레이단 : 042-869-7865 / kjh12@nrf.re.kr
ㅇ (사업 및 접수문의) 반도체·디스플레이단 : 042-869-7868, 7869 / nano123@nrf.re.kr

□해당URL
ㅇ https://www.nrf.re.kr/biz/info/notice/view?menu_no=378&biz_no=601&nts_no=214459&biz_not_gubn=guide